GTS激光跟踪仪USMN联合组网应用——精确到微米的大空间尺度测量1.背景:突破单站式测量精度的局限当前,对于激光跟踪仪的大尺寸测量应用,普遍采用单台作业或多站位转站测量的模式。然而,单站式激光跟踪仪的空间测量精度为15μm+6μm/m,随...
平行度是评估物体是否保持平行状态的重要指标,对于机械加工和装配过程中的许多环节都具有重要意义。所以平行度的测量方法及检测工具在工业制造领域中起着至关重要的作用。三坐标测量机作为一种高精度的测量设备,也可以用于平行度的测量。三坐标测量机测量平...
激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种领域的测量。其中,平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用之一。传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量,但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺...
在现代制造业中,精确度和质量控制是至关重要的因素。而对于产品的尺寸和形状的测量,三坐标测量机成为了一种重要工具。一、为什么选择三坐标测量机?三坐标测量机是一种能够精确测量物体三维尺寸和形状的设备。相较于传统的测量工具,三坐标测量机具有以下优...
工业自动测量系统基于机器视觉、激光等技术,可以提高产品精度和生产效率。它基于数字图像处理技术和人工智能技术,能够在生产线上自动完成对产品尺寸的检测和测量,如用于各种形状、各种材质的产品的测量(机械零件的尺寸测量、汽车零部件质量控制、精密机床...
晶圆在加工过程中的形貌及关键尺寸对器件的性能有着重要的影响,而形貌和关键尺寸测量如表面粗糙度、台阶高度、应力及线宽测量等就成为加工前后的步骤。以下总结了从宏观到微观的不同表面测量方法:单种测量手段往往都有着自身的局限性,实际是往往是多种测量...
台阶仪是一种常见的工业测量仪器,广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的...
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