精密测量SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
以激光干涉技术为核心,SJ6000工业激光干涉测量仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。采用的激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出,并且干涉镜与主机分离设计,避免了干涉镜受热影响,保证了干涉光路稳定可靠。可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
SJ6000高性能激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
SJ6000激光干涉仪测量系统可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测,也具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;支持手动或自动进行环境补偿。
SJ6000机床精密测量激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,是一款高精度、高灵敏度的测量仪器,在制造领域应用广泛。
SJ6000高精度测量激光干涉仪为机床机定位误差(螺距补偿)、反向间隙修正提供依据。操作人员通过每个机床轴的补偿值来消除机床定位系统中的定位误差。后期通过对机床轴的补偿,可以将误差降低到几乎为零的程度,大大提高机床作业精度。
微信扫一扫