SJ6000光学干涉仪对机床运动导轨和滚珠丝杆的各项参数检测分析、校准补偿的重要性,而机床在装配、加工、生产的同时需要频繁的使用到激光干涉仪,来进行多种几何量精度参数的测量以及动态性能的测试、分析。从宏观角度来讲,激光干涉仪对机床工具产业乃至整个制造工业的升级,都是功不可没的。
SJ6000国产激光干涉仪品牌是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的抗扰力强,精度高,测量结果可靠,在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。
SJ6000激光光学干涉仪是一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的抗扰力强,精度高,测量结果可靠,在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。
中图仪器激光干涉仪测量集光、机、电、计算机等技术于一体,采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
SJ6000中图激光干涉仪使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度。
便携自动精密转台,主要特点:小巧便携、功能强大、无线操作;回转轴测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000静态测量软件等组件构成。
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