NS系列台阶轮廓仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

NS系列微观表面台阶显微检测仪是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。

NS200台阶厚度测量仪能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪。

针对测量ITO导电薄膜的应用场景，NS系列台阶厚度仪结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势。

NS200探针式台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。

NS200国产台阶仪能够测量几个纳米到330μm的台阶高度。这使其可以准确测量在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；可以测量表面的2D形状或翘曲。也能够测量在生产中包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件所产生的应力。