SuperViewW1光学白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
中图仪器SuperViewW1白光干涉测厚仪针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。
SuperViewW1白光干涉仪粗糙度仪测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉仪品牌是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW1Chotest中图白光干涉仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
中图仪器SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
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