中图仪器SuperViewW1白光干涉测量检测仪以白光干涉技术原理,对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
中图仪器SuperViewW1白光干涉仪3d轮廓薄膜厚度仪应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。它通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
中图仪器SuperViewW1白光干涉三维形貌测量仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量,以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。
中图仪器SuperViewW1白光光学干涉仪品牌采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高测量精度重复性和高粗糙度RMS重复性。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高.
SuperViewW1白光干涉仪半导体测量仪器具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
SuperViewW系列3d白光干涉仪是以白光干涉技术原理,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,是一款用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的纳米级测量仪器。
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