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SuperView W3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，
SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头，其基于白光干涉和精密扫描研制而成，主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻、便携的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行自动化形式的测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。
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