中图仪器SuperViewW1白光表面干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

SuperView W1白光干涉仪检测设备分辨率0.1μm，重复性0.1%，可以进行非接触式扫描并建立表面3D图像的测量过程，通过系统软件分析器件表面3D图像并进行数据处理与分析，实现了器件表面形貌3D测量的效率高与简化性。

​现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。SuperView W1白光干涉仪检测仪器实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

中图仪器利用客户现场一台已经废弃的三坐标平台进行气浮隔振改造，在完成隔振模块和WX-100白光干涉仪便携式测头的安装后，客户获得了一台具有超大尺寸平台和负载的高精度白光干涉仪。

Super View白光干涉仪国内品牌采用的测量方式是非接触无损测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。集合了自身白光干涉三维重建技术和微纳米显微测量三维软件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重复性0.1%，比肩进口品牌，让轮廓测量价格*为实惠。

中图仪器白光干涉仪专用于非接触式快速测量，具有三维形貌测量和图像分析的功能。适合检测的样品按领域分为微纳材料、超精密加工（机械、光学）、半导体封装、消费电子类这四个领域。