中图仪器VT6000共焦显微镜是一款以共聚焦技术为原理、用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,从而获取反映器件表面质量的2D、3D参数。
VT6000系列共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,仪器测量精度高,能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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