中图仪器VT6000激光共聚焦显微技术以转盘共聚焦光学系统为基础，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

VT6000共聚焦激光显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，主要测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。与传统光学显微镜相比，它具有更高的分辨率，实现多重荧光的同时观察并可形成清晰的三维图像等优点。

VT6000系列共聚焦3D成像显微镜以共聚焦技术为原理，能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

VT6000激光共聚焦显微镜在材料生产检测领域中，共聚焦显微镜在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中也具有广泛的应用。测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中图仪器VT6000系列共聚焦成像显微镜系统可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器VT6000系列3D激光测量共聚焦显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量。