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SuperViewW非接触式表面光学轮廓仪以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
SuperViewW光学三维表面粗糙度轮廓仪测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
SuperViewW非接触式光学3D表面形貌测量系统以白光干涉技术为原理,能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW国产白光干涉光学轮廓仪系统基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。
SuperViewW非接触式光学3D表面粗糙度轮廓仪特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能。
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