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接触式台阶膜厚仪

简要描述:中图仪器接触式台阶膜厚仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-09-13
  • 访  问  量:43

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器接触式台阶膜厚仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

接触式台阶膜厚仪

它是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景,NS200台阶仪提供如下便捷功能:

1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;

2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;

3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;


中图仪器接触式台阶膜厚仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

接触式台阶膜厚仪

产品功能

1.参数测量功能

1)台阶高度:能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。

3)应力测量:可测量多种材料的表面应力。

2.测量模式与分析功能

1)单区域测量模式:完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度,即可开始测量。

2)多区域测量模式:完成Focus后,根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式,一键即可完成所有扫描路径的自动测量。

3)3D测量模式:完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置,一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。

4)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

3.双导航光学影像功能

在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机,在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径,在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。

4.快速换针功能

采用了磁吸式测针,当需要执行换针操作时,可现场快速更换扫描测针,并根据软件中的标定模块进行快速标定,确保换针后的精度和重复性,减少维护烦恼。

接触式台阶膜厚仪

磁吸针实物外观图(330μm量程)


台阶仪广泛应用于:大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。


部分技术指标

型号NS200
样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野:2.2×1.7mm
探针传感器
超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
单次扫描长度55mm
样品厚度50mm
载物台晶圆尺寸200mm(8吋)
台阶高度重复性5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时(测量1μm台阶高度,1δ)
尺寸(L×W×H)mm630×610×500
重量40kg
仪器电源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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