探针式轮廓薄膜表面台阶仪

中图仪器NS系列探针式轮廓薄膜表面台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。如在太阳能光伏行业中，利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。

NS系列探针式轮廓薄膜表面台阶仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点，针对测量ITO导电薄膜的应用场景，中图仪器NS系列台阶仪提供如下便捷功能：

1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；

2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；

3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；

产品功能

1.参数测量功能

1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。

3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。

2.测量模式与分析功能

1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。

2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。

3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。

4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

3.双导航光学影像功能

在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。

4.快速换针功能

采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。

磁吸针实物外观图（330μm量程）

性能特点

1.出色的重复性和再现性，满足被测件测量精度要求

线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

2.超微力恒力传感器：（1-50）mg可调

测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨，杜绝运动中的细微抖动，提高扫描精度，真实反映工件微小形貌。

4.顶视光学导航系统，5MP超高分辨率彩色相机

5.全自动XY载物台， Z轴自动升降、360°全自动θ转台

6.强大的数据采集和分析系统

台阶仪软件包含多个模块，为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。

典型应用

部分技术指标

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

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