高精度工业激光干涉测量仪

中图仪器SJ6000高精度工业激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

工作原理

激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。

测量原理

激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。

产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

产品功能

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

可实现龙门机床双轴同步测量；

可实现对机床回转轴的测量与校准；

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

SJ6000高精度工业激光干涉测量仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

支持手动或自动进行环境补偿。

产品优势

1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。

2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。

3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。

产品应用

1.测量机床导轨的直线度和平行度。

导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。

2.测量机床工作台的平面度和垂直度。

机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。

3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。

机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。

4.其它

除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。

对数控机床进行螺距误差补偿

部分技术指标

主机

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50 kHz

预热时间：≤ 6分钟

工作温度范围：(0~40)℃

存储温度范围：(-20~70)℃

环境湿度：(0~95)%RH

环境补偿单元

空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa

线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)

角度测量范围：±10°

平面度测量范围：±1.5mm

直线度测量范围：±3mm

垂直度测量范围：±3/M mm/m

便携箱尺寸：613*460*230mm

标准配置重量：18kg

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

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