纳米级白光干涉仪

中图仪器SuperViewW1纳米级白光干涉仪是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：

在光学行业中的应用

光学器件，例如各种光学镜片和玻璃，属于超精密加工的产物，因此其表面质量等级都非常高，接触式轮廓仪会划伤表面，而且由于其高透明度，一般的非接触式光学影像方法也束手无策，而中图仪器利用光学干涉原理研制而成的SuperView W1光学3D表面轮廓仪，能解决这两个难题，为光学镜片和玻璃的表面质量检测提供了标准解决方案。

光学透镜检测

蓝宝石玻璃检测

玻璃屏检测

玻璃表面台阶检测

SuperViewW1纳米级白光干涉仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

部分技术指标

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