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高精度机床激光干涉仪

简要描述:中图仪器SJ6000高精度机床激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-08-11
  • 访  问  量:666

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SJ6000高精度机床激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。

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产品功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。

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产品配置

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

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主要镜组图

其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


线性测量配置及使用方法

线性测量(线性轴位置精度测量的简称)配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。其中,线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。


线性测量应用

SJ6000高精度机床激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

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部分技术指标

主机

稳频精度:0.05ppm

动态采集频率:50 kHz

预热时间:≤ 6分钟

工作温度范围:(0~40)℃

存储温度范围:(-20~70)℃

环境湿度:(0~95)%RH


环境补偿单元

空气温度传感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料温度传感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空气湿度传感器:±6%RH (0~95)%RH

大气压力传感器:±0.1kPa (65~115)kPa


线性测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

角度测量范围:±10°

平面度测量范围:±1.5mm

直线度测量范围:±3mm

垂直度测量范围:±3/M mm/m


便携箱尺寸:613*460*230mm

标准配置重量:18kg

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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