光栅尺测长机

中图仪器SJ5100系列光栅尺测长机具有高精度、高速度、非接触式测量等优点，是利用光栅的干涉作用，通过光电检测器将光信号转化为电信号，并经过计算得出被测物体的尺寸。广泛应用于机械加工、电子制造、半导体生产等领域，常用于工业生产中对物体长度、角度和位置等参数的精确测量。其测量精度通常可达到亚微米级别，可以满足大多数工业生产对尺寸精度的要求。

产品描述

采用进口高精度光栅测量系统、高精密研磨直线导轨、高精度温度补偿系统、双向恒测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种长度参数的高精度测量。通过高精密研磨导轨保证测量头座移动的高稳定性及超高直线度，采用进口高精度光栅测量系统记录长度方向坐标，由计算机将光栅数据与测力装置、温度传感器的反馈数据及阿贝误差数据修正后进行数据合成（由于导轨较高的直线度，因此阿贝修正造成的仪器误差小）。按被测件参数的相关定义及公式进行分析，计算获得相关长度参数。

操作者装好被测件，在检测软件上选择被测件的标准和输入被测件的规格参数后，移动头座接触被测件，调整五轴工作台找到拐点，采样完成得到测量数据，系统可实时显示测量结果，自动计算被测件各项参数（如检测螺纹规，则可自动计算螺纹中径），并根据系统内置的标准数据库对被测件的各项参数进行合格判定，整个测量过程不超过3分钟，结束后自动生成结果及记录报表。

仪器主要功能

1.标配功能：

检测量块&块规：（0.1~300mm）；

光滑环规：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞规：φ1~φ220mm；

螺纹环规：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺纹塞规：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡规：内卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校对杆：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

针规：φ0.1~φ10mm

三针：0.118~6.585mm；

两点内径千分尺：25~300mm；

2.可选配功能：

小型光滑环规：φ0.8~φ5mm；

螺纹环规：规格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑锥度环规：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑锥度塞规：φ5~φ60mm（长度10~100mm）；φ60~φ200mm（长度≤50mm）；

螺纹锥度环规：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺纹锥度塞规：M5~M60mm（长度10~100mm）；M60~M200mm（长度≤50mm）；

锯齿螺纹、梯形螺纹：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花键环塞规/花键及标准齿轮（跨棒距测量）：内φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模数0.8~6mm；

外径千分尺示值误差手动校准：25~300mm；

数显及游标卡尺示值误差手动校准：75~300mm；

深度千分尺示值误差手动校准：0~25、25~50、50~75mm；

三爪内径千分尺手动校准：φ6~φ200mm；

表类（百分表、千分表、杠杆表手动校准）；

数显半径规手动校准：R5~R700mm；

轴承内外圈锥度、沟槽底径内外径及沟槽宽度、精密零部件的长度尺寸，内外径尺寸测量；

主要技术指标

性能特点

1.全程直接测量：

SJ5100系列光栅尺测长机采用进口高精度长玻璃光栅尺作为长度方向定位，可进行高精度全行程直接测量。

2.高精度、高稳定性：

1)高精度光栅测量系统，分辨力达到0.01μm，测量精度高；

2)精密研磨导轨系统导轨直线度高，材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作；

3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆，保证测试数据的高精度真实采集；

4)采用大理石基座，通过有限元分析优化仪器基座结构保障几十年稳定不变形，高刚性大理石底座结构保证了仪器在头座及工作台在测量移动过程中几乎不产生变形，仪器受外界震动干扰小，保证仪器的长期稳定可靠性；

5)采用紧凑型摩擦驱动结构，移动摩擦驱动力小，保证了头座移动过程中的稳定性。

3.双向恒测力：

1) 特殊传感器双向恒测力系统，减小了测力对测量结果的影响，保证了高的系统测量精度；

2) 测力较大范围的连续可调；

3) 非砝码加载，测力传感器原理避免了仪器台面不水平及周围环境振动带来的测力误差。