共聚焦显微3D测量仪

中图仪器VT6000系列共聚焦显微3D测量仪是以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。

产品功能

1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；

2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；

3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；

4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

在材料生产检测领域中，VT6000共聚焦显微3D测量仪能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

技术指标

型号：VT6100

行程范围：100*100*100mm

视场范围：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度测量重复性(1σ)：12nm

高度测量精度：± (0.2+L/100) μm

高度测量分辨率：0.5nm

宽度测量重复性(1σ)：40nm

宽度测量精度：± 2%

宽度测量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

仪器重量：50kg