3D光学白光干涉仪

中图仪器3D光学白光干涉仪SuperViewW1基于白光干涉原理，不仅用于零件的检测，还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备，能完成缺陷尺寸的在线检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SuperViewW13D光学白光干涉仪测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测，具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。它特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

产品功能

1) 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3) 测量中提供拼接测量功能。

4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

测量单刻线台阶

在检查SuperView W1白光干涉仪的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。

在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、0D参数。