白光干涉仪三维显微镜

SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜载物台尺寸为320*200mm（可定制），行程为140*110mm（可定制）；测量的Z向范围可达10mm（2.5X镜头），Z向的精度可高达0.1nm。可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

行业应用

在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行业，可以测量台阶高度和表面粗糙度；

在军事领域，可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

测量方法

1.点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心

2.将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；

3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；

4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；

5.设置好扫描方式和扫描范围；

6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；

7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；

8.根据被测物形状和尺寸，"形状"栏选择“椭圆平面"，X和Y方向按需设置；

9.点击弹出框右下角的“开始"图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。