咨询电话:18928463988
Products产品中心
首页 > 产品中心 > 19461188伟德网 > 光学3D轮廓仪 > SuperViewW1三维白光轮廓仪

三维白光轮廓仪

简要描述:SuperViewW1三维白光轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-08-10
  • 访  问  量:672

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1三维白光轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础,用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度,并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、3C电子玻璃屏及其精密配件、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。


637807891013150138664.jpg

产品性能

纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关

扫描帧速:50FPS/s

粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)

光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关

至大点数:1048576(标准)

台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ


637969496467774618899.jpg

产品特点

参数测量:粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积,一网打尽;

环境噪声检测:实时监测,纳米波动,也无可藏匿;

双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石"也能安然无恙;

自动拼接:3轴光栅闭环反馈,让3D拼接“天衣无缝";

双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动"。


SuperViewW1三维白光轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
深圳市中图仪器股份有限公司
  • 联系人:罗健
  • 地址:深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园
  • 邮箱:sales@chotest.com
  • 传真:86-755-83312849
关注我们

欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息

扫一扫
关注我们
版权所有 © 2024 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml
管理登陆    技术支持:仪表网    
Baidu
map