激光干涉仪测量系统

SJ6000激光干涉仪测量系统可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；也可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。

测量精度高、速度快，稳定性好：

1.使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；

2.以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；

3.使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；

4.配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；

5.分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。

量程精度

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

SJ6000激光干涉仪测量系统可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测，也具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；支持手动或自动进行环境补偿。