国产激光干涉仪品牌

SJ6000国产激光干涉仪品牌是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的抗扰力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

典型应用

1.数控机床的线性测量；

2.线性模组的定位精度测量；

3.实验室作为长度基准；

4.数控机床倾斜轴的线性测量；

5.小角度测量；

6.直驱电机的角度测量；

7.直线导轨的平行度测量；

8.设备直线度测量；

9.大理石平台的平面度测量；

10.三坐标的垂直度测量；

11.设备导轨垂直度测量；

12.双轴测量。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

测量精度高、速度快，稳定性好

①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。

应用范围广

①SJ6000国产激光干涉仪品牌可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测；

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析；

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析。