激光光学干涉仪

SJ6000激光光学干涉仪是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的抗扰力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

性能特点

1、易操作，方便携带

SJ6000激光干涉仪和镜组以及环境补偿器，外形小巧美观方便携带，一套完整的激光干涉仪和镜组只需要装在一个类似于行李箱的工具箱中，整体加起来的重量轻，再加上一个可以自由伸缩调整高度的三脚架（装在无纺编织袋中），随时随地可用于机械测量。激光干涉仪与环境补偿器都有端口和计算机USB接口相连，实时传递检测数据，供计算机检定软件测算，检定过程轻松易掌握，没有复杂的程序设定。

2、高精确度保证动态性能

氦氖激光器持续输出高稳频的激光源，再加上环境补偿器，使线性测量的精度稳定在0.5ppm，动态采集数据频率高达50KHz，测量速度4m/sec，高速测量下的分辨率为1nm。

3、技术品质高

精心的设计和严格把关的制造，持续提供技术支持，对产品质量保证都显得尤为重要，完善的售前、售中、售后和全国支持网络。

4、适用性和灵活性

SJ6000激光干涉仪架设灵活，对各种复杂结构的机床、平台和导轨都具有广泛适用性，测量快速简便，减少重复定位测量的时间，同时得到精确直观的检测数据。

SJ6000激光光学干涉仪具有高精确测量、计算的系统性能和便携式操作等特点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。