白光干涉显微测量仪

白光干涉显微测量仪

以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

产品功能

  1）样件测量能力：满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；

  2）自动测量功能：自动单区域测量功能、自动多区域测量功能、自动拼接测量功能；

  3）编程测量功能：可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动测量功能，实现一键测量；

  4）数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

  5）数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

  6）批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；

产品功能

  1）同步支持6、8、12英寸三种规格的晶圆片测量，并可一键实现三种规格的真空吸盘的自动切换以适配不同尺寸晶圆；

  2）具备研磨工艺后减薄片的粗糙度自动测量功能，能够一键测量数十个小区域的粗糙度求取均值；

  3）具备晶圆制造工艺中镀膜台阶高度的测量，覆盖从1nm~1mm的测量范围，实现高精度测量；

白光干涉显微测量仪