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光学3D表面轮廓仪

简要描述:光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。有非接触式无损检测,一键分析、快速高效的优点。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-08-10
  • 访  问  量:651

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

光学3D表面轮廓仪

以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。


光学3D表面轮廓仪 产品功能

1.系统光源及寿命:双LED光源(白光和绿光),10万小时超长寿命,终身无需更换;

2.测量模式:垂直扫描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),结合VSI和PSI的自适应通用测量模式(USI)

3.多区域自动分析:自动获取图案化形貌区域的三维信息(高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等),同时具有自动统计分析功能。

4.一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

5.测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

6.测量中提供拼接测量功能。

7.分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

8.分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

9.分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。


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