SJ6000激光干涉仪检测设备

SJ6000激光干涉仪检测设备除了环境适应能力好，还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。

SJ6000激光干涉仪量程精度

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

产品功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3.可实现对机床回转轴的测量与校准；

4.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

5.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

6.支持手动或自动进行环境补偿。

SJ6000激光干涉仪检测设备氦氖激光器持续输出高稳频的激光源，再加上环境补偿器，使线性测量的精度稳定在0.5ppm，动态采集数据频率高达50KHz，测量速度4m/sec，高速测量下的分辨率为1nm。