光学表面3d轮廓测量仪器

光学表面3d轮廓测量仪器由光学照明系统、光学成像系统、垂直扫描控制系统、信号处理系统、应用软件构成。其中信号处理系统作为仪器核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。重建算法能自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。

中图仪器SuperViewW1光学表面3d轮廓测量仪器能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

结果组成：

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

主要应用领域：

1、用于太阳能电池测量；

2、用于半导体晶圆测量；

3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；

4、用于机械部件的计量；

5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。

SuperViewW1光学3D表面轮廓测量仪的双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。