便携式3D轮廓测量仪

中图仪器SuperViewW1便携式3D轮廓测量仪是以白光干涉技术为原理，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域中，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

除主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，SuperViewW1便携式3D轮廓测量仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

性能特点

1、轮廓/粗糙度测量功能：

高到亚纳米级的高度分辨率，在宽度、高度、角度、直径等各类轮廓尺寸测量功能以及表征表面整体加工质量的粗糙度等指标；

2、自动化测量功能：

自动单区域测量/自动多区域测量/自动拼接测量；

3、复合型扫描算法：

集合了PSI高精度&VSI大范围双重优点的EPSI扫描算法，有效覆盖从超光滑到粗糙等所有类型样品，无须切换，操作便捷；

4、双重防撞保护功能：

Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重保护，多一重安心；

5、环境噪声检测功能：

环境噪声评价功能能够定量检测仪器当前所处环境的综合噪声数值，对仪器的调试、测试可靠性提供指导；

6、完善的售后服务体系：

设备故障远程&现场解决，软件免费升级。

应用场景

微流控器件—槽道测量

光伏栅线—厚度和宽度测量

半导体-轮廓尺寸测量

薄膜粗糙度测量