sj6000激光干涉仪

任何机床加工设备，在长时间的使用都会由于自身磨损或者其它一些原因造成加工超差的发生。一般出现这种情况时，就需要使用激光干涉仪进行精度的再校准，sj6000激光干涉仪可同时测量出机床的螺距误差值和反向间隙（又称背隙），通过精度再校准，加工精度会大大提高。

可调转向镜应用实例斜床的倾斜轴测量

轻型线性镜组附件应用实例

sj6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

技术参数

产品型号：SJ6000

产品名称：SJ6000激光干涉仪

稳频方式：激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

通过与不同的光学镜组结合，能实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测。线性测长精度0.5ppm，激光稳频精度：0.05ppm。在动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。