国产激光干涉仪器

激光干涉仪是高精度线性位移测量仪器，目前市场上的干涉仪产品大多为激光干涉仪。产生激光的方法主要是利用塞曼效应和声光调制。一些产品激光频差达到20MHz以上。声光调制方法的频率稳定性非常好，可以利用锁相放大器处理信号；缺点是稳频、调制、合光等环节使得光学结构复杂，调整困难，成本偏高。

SJ6000国产激光干涉仪器采用氦氖激光器作为光源。其精度高，扛扰力强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。

· 采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；

· 采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；

· 采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；

· 采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；

· 采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000国产激光干涉仪器结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

在机床行业，激光干涉仪是一个非常重要的工具，常用于数控机床精度检测和补偿。