三维轮廓测量仪器

SuperViewW1三维轮廓测量仪器以白光干涉技术为原理，采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。

技术指标

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

测量方法

1. 点击XY复位，使得镜头复位到载物台中心

2. 将被测物放置在载物台夹具上，被测物中心大致和载物台中心重合；

3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件；

4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度，找到干涉条纹；

5.设置好扫描方式和扫描范围；

6.点击选项图标，确认自动找条纹上下限无误；

7.点击多区域测量图标，可选择方形和（椭）圆形两种测量区域形状；

8.根据被测物形状和尺寸，"形状"栏选择“椭圆平面"，X和Y方向按需设置；

9.点击弹出框右下角的“开始"图标，仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。

SuperViewW1三维轮廓测量仪器应用

在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度；

在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；

在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度。