光学3d轮廓仪设备

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台（XY）局部位移精度和线性精度为亚微米，Z向运动精度可达数纳米，线性精度可达亚纳米级别。采用CCD取代了显微镜中的目镜，因而可直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。

SuperViewW1光学3d轮廓仪设备的精密核心部件均外购，核心器件价格昂贵，包括扫描电机和镜头，另外如此高精度仪器，在机械零部件的加工要求上均有高要求，同时对系统控制、软件上都有非常高的要求。

测量软件和分析软件整合为一体，基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算能力。一体化操作软件，测量与分析同界面操作，预先配置好分析参数，软件自动统计测量数据，实现快速批量测量。

安装和使用环境要求

理想使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体

工作温度：15℃ ~30℃，温度梯度 < 1℃/15分钟

相对湿度：40-60%，无凝结

如现场环境不理想，需要对实际使用环境进行评估，其中环境噪声（地面振动、声波噪声）不能过大。

技术规格

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取