3d光学轮廓测量仪

3d光学轮廓测量仪可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中。

SuperViewW1光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

对两台阶高的检测

蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度

玻璃屏表面粗糙度检测

3d光学轮廓测量仪主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。

SuperView1光学3D表面轮廓仪参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取