机床校准激光干涉仪

中图仪器SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；也可以实现对机床回转轴的测量与校准。

SJ6000机床校准激光干涉仪

SJ6000机床校准激光干涉仪可根据具体测量需求而选择不同的组件，具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

注意事项

对角线测量套装配置需求：对角线测量套装＋可调转向镜

平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

产品参数

产品型号： SJ6800

产品名称： 激光干涉仪

稳频方式： 激光双纵模热稳频

稳频精度： 0.04ppm

测量距离：≤（0-80）m（无需远距离线性附件）

测量分辨力：1nm

测量至大速度：4m/s

线性测量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

主要特点：绝对测量、恒测力、无阿贝误差