白光表面干涉仪

中图仪器，坚持以技术创新为发展基础，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售，为用户提供从纳米到百米的精密测量解决方案！

白光表面干涉仪是利用光学原理开发的非接触测量仪器，更能满足现代工业数字化测量的高精度、低成本和小型化需求。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

产品特点

【3D测量，一览无余】

采用白光干涉技术，结合具有优异抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节。

【功能强大，参数齐全】

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括，距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖，有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数。

【操作便捷，简单明了】

直观的操作界面，一目了然的操作流程，自动聚焦，一键实现测量过程；可视化的工作流程树，一键激活的图库管理功能，所见即所得的分析功能，有一键分析功能，批量测量效率高。

【高重复精度，稳定可靠】

采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性。

【两种型号，量身定制】

W1系列光学3D表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合需求，贴心省力。

【广泛应用，贴心服务】

可测2D/3D轮廓、粗糙度，300余种特征参数……光学3D表面轮廓仪在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径……

中图仪器SuperViewW1白光表面干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。