激光平面干涉仪

中图仪器激光平面干涉仪采用氦氖激光器作为光源，精度高，抗干扰强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，使它不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。

系统组件

1、激光主机

精准——激光频率稳定度高，可溯源至国家标准。

中图仪器激光平面干涉仪主机由DC12V电源适配器供电，输入电压范围在100V-240V之间皆可正常工作。

支持USB通信接口，可与计算机高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配备的SCSI接口，可提供外部触发信号输入和正交信号输出，以及其它扩展应用。

2、EC20环境补偿单元

可靠——对空气温度、湿度、气压和材料温度进行自动环境补偿。

激光干涉仪是以激光波长为载体，测量过程中环境条件（空气温度、湿度、气压）的变化会影响激光波长。

EC20环境补偿单元可实时检测环境条件的变化，同事进行激光波长补偿。

EC20环境补偿单元可连接三个材料温度探头，监测被测对象其材料的温度变化，同事进行材料的热膨胀补偿。

EC20环境补偿单元采用低功耗设计，无需额外的供电电源，其工作电源集成于USB接口。

为了方便现场使用，EC20环境补偿单元配备磁性挂板，温度探头的标准线长5m，亦可定制线长。

3、三脚架及便携箱

其他组件

1、光学镜组

（1）线性镜组

应用于机器轴的定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等；也可用于机器轴的动态测量分析。

（2）角度镜组

应用于机器轴的角摆测量和转轴的旋转角度测量；亦可以用于转轴的角速度和角加速度的动态测量分析。

（3）直线度镜组

应用于导轨或机器轴的直线度测量，包含水平方向和垂直方向的直线度。

（4）平面度镜组

按照国标方式进行平面度的测量和分析，其平面度羁绊长度可调。

（5）线性附件-轻型线性镜组

轻型线性镜组包括缩光镜和小角锥反射镜，其中小角锥反射镜重量仅为8g，可以直接在被测物体上，有效降低线性反射镜过重带来的影响。主要应用于先行反射镜的重量可能影响到被测轴系的机械性能或精度；线性反射镜的尺寸遇到较为困难的装夹场合；负载敏感的动态测量。

（6）大角锥反射镜

应用于机器Z轴方向的直线度测量或垂直度测量，起反射光束的作用。

（7）垂直度镜组

应用于两条相互垂直的机器轴的垂直度测量场合。

2、其他附件

（1）线性附件-可调转向镜

能把水平射出的激光俯仰偏转25°以上，结合线性镜组可用于倾斜机床、三坐标对角线的测量。

（2）磁性表座

科隙蛛在钢铁表面，通过转动手柄，来转动里面的磁铁，特别适用于机床和导轨上面的安装。配合安装柱使用，可将安装柱锁紧在磁性表座上。

（3）直线度基板

用于机器Z轴的垂直度测量，需配合磕掉转向镜和大角锥反射镜使用。

（4）辅助安装块

用于镜组不能直接安装的场合。配合磁性表座使用；也可以直接结合安装柱使用。

（5）垂直度安装附件

在测量机器Z轴垂直度时，用于安装90°转向镜。

（6）夹紧孔座

用于镜组的安装和夹持，可紧固各镜组在安装柱上。

（7）90°转向镜

应用于机器Z轴方向的直线度测量或垂直度测量，起偏转光束的作用。

（8）安装柱

主要用于夹紧孔座的安装定位，可锁在磁性表座或辅助安装块上。安装柱可以相互对接延长，以便增加夹紧孔座的可调范围。

中图激光干涉仪测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。