SJ6000自制激光干涉仪

中图仪器SJ6000自制激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰的能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准；

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

(5)具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

(6)支持手动或自动进行环境补偿。

SJ6000自制激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、垂直度、角度、直线度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行加速度、位移、速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

转台应用

轻型线性镜组附件应用

可调转向镜应用：斜床的倾斜轴测量