非接触光学轮廓仪

SuperView W3 非接触光学轮廓仪可对测试样品的表面微纳形貌特征进行测量和分析，具有测量准确度高、应用范围广、智能化水平高等特点。产品经深圳市计量质量检测研究院计量校准，技术指标参数满足相关标准要求。

产品参数

产品型号：SuperView W3

产品名称：白光干涉仪

原理：非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置：长范围，Z轴纳米光栅控制

物镜：Nikon，10×无限远共轭干涉物镜

物镜座：5孔电动物镜塔台（标准）

测量阵列：1024*1024，工业级相机

Z轴：100mm行程，纳米位移闭环反馈

安全性：系统集成紧急制动功能

样品台：0.1nm电动，俯仰倾斜±6°，电动调节，XY行程300*300；尺寸450*450mm，亚微米闭环反馈

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

技术指标

光学规格

SuperView W3 光学3D表面轮廓仪基于白光干涉仪原理研制而成，采用扩展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到湖面等各种表面类型，让3D测量变得简单。

产品配置

产品特点

1）参数测量：粗糙度、微观轮廓尺寸、角度、面积、体积、一网打尽；

2）环境噪声监测：实时监测，纳米波动，也无可藏匿；

3）双重防撞保护：软件ZSTOP和Z向硬件传感器，让“以卵击石"也能安然无恙；

4）自动拼接：3轴光栅闭环反馈，让3D拼接“天衣无缝"；

5）双重振动隔离：气浮隔振，吸音隔振，任你“地动山摇，我自岿然不动"。

白光干涉全自动光学3D表面轮廓仪是深圳市中图仪器股份有限公司针对垂直扫描测量均匀采样、环境干扰、中心波长标定、干涉条纹探测等技术难题，开展白光干涉垂直扫描光学系统优化设计、宏微驱动扫描技术、抗振动结构系统、高精度三维重建算法和测量分析软件系统等关键技术研究。突破了双模式复合三维测量光学测量技术，开发一种可同时实现白光干涉、聚焦成像的三维轮廓测量复合光学测量装置，扩展测量仪器测量能力及应用范围；攻克融合小波变换、正交解调的三维重建技术，开发干涉条纹自动搜索技术，较好地抑制非均匀采样、环境振动干扰等因素的影响；研发双通道气浮振动隔离技术并设计气浮隔振系统，提高测量系统的抗振动能力。

SuperView W3 非接触光学轮廓仪具有创新性，在双光路复合三维测量光学系统集成设计及全自动找寻干涉条纹方法方面达到不错的水平。如今产品已产业化，在高校科研院所、3C消费类电子、超精密光学加工、半导体制造及封装工艺检测企业、MEMS器件、微纳材料及制造、航天军工等先进制造的各个领域得到应用，反映良好，取得显著的社会经济效益和生态环境效益。