激光干涉仪检测设备

SJ6000激光干涉仪检测设备采用高性能氦氖激光器、激光纵模热稳频技术、高速干涉信号采集、调理及细分技术以及纳米级的分辨率，集光、机、电、计算机等技术于一体，是高精度、高灵敏度的测量仪器，在制造领域应用广泛。

产品参数

产品配置

（依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台）

产品特点

SJ6000激光干涉仪检测设备具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可以检测线性、角度、直线度、垂直度等几何参量的高精度测量，可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。

测量机床垂直度

测量机床定位精度

WR50自动精密转台测量机床回转轴精度

在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

注意事项

1）对角线测量套装配置需求：对角线测量套装＋可调转向镜

2）平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

3）平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

4）短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

5）长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

6）直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

配件与证书

SJ6000激光干涉仪以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级，SJ6000激光干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。内置各种类国标（GB）、ISO（）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。