光学3d轮廓仪

3D形貌地图配合色谱图，非常直观；但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。

中图仪器基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1 光学3d轮廓仪，能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面；检测结果以3D数据地图的方式显示，直观地展示了表面纹理特征。

光学系统基于无限远显微镜系统，通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为光学3D表面轮廓仪。除了负责产生干涉条纹，各类干涉物镜还决定了系统许多关键性能，比如光学分辨率、工作距离、齐焦距离、坡度能力、视场范围等等。数秒内，可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。

SuperView W1 光学3d轮廓仪特征

1、高垂直分辨率，强大的测量性能；

3、任何倍率下亚埃级至毫米级垂直测量量程； 

4、*的测量硬件，可靠性和重复性的保证；防振系统； 

5、提高三维表面测量和分析速度数据处理速度和分析速度的多核处理器软件；

6、数据无缝拼接能力；

7、三维光学轮廓仪高度直观的用户界面，拥有业界的实用性，操作简便和分析功能强大优化的用户界面大大简化测量和数据分析过程；*的可视化操作工具；可自行设置数据输出的界面，微纳米三维形貌一键测量。

技术指标

标准配置

中图仪器，历经了十多年的技术积累和发展实践，除了Super View系列白光干涉仪，还有SJ2000系列指示表自动检定仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ6000系列激光干涉仪、GT系列激光跟踪仪等众多测量、计量设备。从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案！