非接触3d光学轮廓仪

中图SuperView W1非接触3d光学轮廓仪，可测各类从低反射率到高反射率、超光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的微观几何轮廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品参数

非接触3d光学轮廓仪以白光干涉技术为原理，对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描，从而实现器件表面形貌3D测量。

工作原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

相比接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面和单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量的缺点，SuperView W1 3d光学轮廓仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

应用示例

产品性能特征

1、高精度、高重复性

光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，以及能有效隔离频率2Hz以上绝大部分震动的隔振系统，能保证仪器测量效果精度高、测量重复性高。

2、一体化操作的测量分析软件

1）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

2）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

3）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；

4）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，和Z轴上的电子传感器，保护仪器，降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。