VT6000转盘共聚焦光学系统显微镜基于光学共轭共焦原理,结合精密纵向扫描,以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像,从而进行分析的精密光学仪器,一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。
中图仪器NS系列太阳能涂层薄膜测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。仪器采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
VT6000中图材料共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理,结合精密纵向扫描,以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像,从而进行分析。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
中图仪器SuperViewW中图科研级白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。它能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。
中图仪器VT6000高分辨率工业用共聚焦显微镜是基于光学共轭共焦原理,结合精密纵向扫描,以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像,从而进行分析的精密光学仪器,一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。
NS系列台阶仪测量柔性电子器件薄膜厚度可用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位。
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