NS系列接触式膜层厚度台阶仪采用接触式测量方式，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

VT6000共轭共焦显微镜测量技术基于光学共轭共焦原理，以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

VT6000系列3D微观形貌共聚焦显微镜基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，3D 建模算法等，对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

NS系列纳米测厚台阶仪测量台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数时，采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

SuperViewW1白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪以白光干涉技术为原理，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。

VT6000共聚焦陡峭角度测量显微镜以共聚焦技术为原理，用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。