中图仪器SuperViewW1白光干涉仪表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器VT6000系列3D激光测量共聚焦显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量。

中图仪器VT6000共聚焦显微镜大坡度成像更清晰，它以针孔共聚焦技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

以共聚焦技术为原理的共聚焦显微镜​，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。VT6000系列3d共聚焦显微镜基于共聚焦显微技术，在材料生产检测领域中能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1中图国产白光干涉仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性。

VT6000共聚焦测量显微镜以针孔共聚焦技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。