NS系列微观表面台阶显微检测仪是利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上,使得测量更加直观。
SuperViewW1白光干涉仪半导体测量仪器具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。VT6000共聚焦光学测量显微镜技术以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,在相同物镜放大的条件下,所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。
NS200台阶厚度测量仪能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪。
SuperViewW系列3d白光干涉仪是以白光干涉技术原理,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,是一款用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的纳米级测量仪器。
SuperViewW1三维白光干涉表面形貌仪以白光干涉技术为原理,可测2D/3D轮廓、粗糙度,300余种特征参数,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
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