中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度仪基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

中图仪器VT6000转盘共聚焦光学显微镜系统基于光学共轭共焦原理，以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统。主要采用3D捕获的成像技术，它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力。

中图仪器NS系列触控面板薄膜厚度测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

中图仪器SuperViewW1白光干涉膜厚仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器VT6000材料领域高分辨率共聚焦测量显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测，对大坡度的产品有更好的成像效果，在满足精度的情况下使用场景更具有兼容性。

中图仪器NS系列探针式台阶仪轮廓粗糙度表面检测仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量，是一种接触式表面形貌测量仪器。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。