SuperViewW1表面粗糙度光学测量仪采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为0.75%，重复精度要求0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。

SJ5718-R在线粗糙度仪具有精度高、使用方便、功能强等优点，能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量，并且具有的CNC功能能进行一系列操作自动化，可高效率地进行测量作业。

大量程粗糙度测量仪是一款表面粗糙度测量仪器；采用进口高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能粗糙度测量模块、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面粗糙度的测量和分析

小型粗糙度测量仪通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度，采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面粗糙度微观轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，最终还原出工件粗糙度信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对粗糙度进行各种参数分析。

由于硅晶圆的粗糙度检测精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的SuperViewW1晶圆粗糙度检测仪器才适用。

中图仪器SuperViewW1 非接触粗糙度测量仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。