中图仪器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光学轮廓仪能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

中图仪器SuperViewW光学3D轮廓仪粗糙度在线检测设备基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SJ5800系列轴承表面粗糙度轮廓仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm，高稳定、高精密测量轴承。

中图仪器国内粗糙度仪和轮廓仪厂家采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量。

SuperViewW广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SJ5700DUAL双向型轮廓扫描仪X轴、Z轴采用独立运动系统，使用两轴联动运动控制算法，可实现X、Z双轴联动扫描，测量时测针在工件表面做仿形运动扫描（主动扫描），既保持了恒测力，又保证了大的陡坡通过能力，工件调平操作简单，同时避免了崩针、挂针等问题。可以全量程大范围连续扫描，拥有长达数百毫米的持续爬坡能力。