SuperViewW1轮廓表面测量仪可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的微观几何轮廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

中图仪器SuperViewW1非接触式光学轮廓仪器以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

SuperViewW1三维轮廓测量仪器以白光干涉技术为原理，采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。

中图仪器3d光学检测轮廓仪可测量程范围内的三维尺寸，不过主要还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数。

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台（XY）局部位移精度和线性精度为亚微米，Z向运动精度可达数纳米，线性精度可达亚纳米级别。

中图仪器3d形貌轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级数据处理与分析的光学测量仪器。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。